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一、機組配置

(1)JTFB-1200膠圈水冷分子泵1臺。

(2)2X-70旋片泵1臺。

(3)BSJ150L羅茨泵1臺。

(4)KF25氣動角閥2套。

(5)200擋板閥1套。

(6)高真空復合真空計1套。（包括KF40電離規、KF16熱偶規）

(7)波紋管3根。

(8)帶腳輪、圍板的機架1套。

(9)PLC控制系統1套。

(10)工作電壓：380V

二、機組外形圖

三、機組外形尺寸