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一、機組配置

(1)JTFB-1200F/JTFB-1600F復合風冷分子泵1臺。

(2)18升機械泵1臺。

(3)KF40手動角閥1套。

(4)高真空復合真空計1套。（包括KF40電離規、KF16熱偶規）

(5)直徑240mm*高120mm /直徑290mm*高125mm 測試罩1套。

(6)波紋管1根。

(7)帶腳輪、圍板的小車1套。

(8)工作電壓：380V

二、機組外形圖

三、機組外形尺寸