一、機組配置
(1)JTFB-600F復合分子泵1臺。
(2)4.3升無油渦旋真空泵1臺/3升~6旋片式真空泵1臺。
(3)KF40手動角閥1套,波紋管1根。
(4)高真空復合真空計1套(包括KF40電離規、KF16熱偶規)。
(5)直徑180mm*高138mm 測試罩1套。
(6)帶腳輪、圍板的小車1套。
二、機組外形圖
三、機組外形尺寸
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