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一、性能指標

•  閥體漏率：金屬方法蘭＜1*10-8pa.l/s （膠圈方法蘭閥體漏率：＜1*10-7pa.l/s）

• 使用范圍：6*10E-8Pa－1*10E5Pa（膠圈密封 6*10E-7Pa－1*10E5Pa）

• 氣源壓力：0.4－0.7MPa （4－7kgf/cm2） 

• 使用流體：空氣（經 40 微米濾網過濾）

• 進氣接管：外徑φ6mm 尼龍或塑料管 

• 閥門控制：DC-24V 或 AC220V 3W

• 磁性開關： 5-220V 100 mA

• 烘烤溫度：閥體＜180℃（在閥門開啟狀態）、汽缸與閥體聯結處＜80℃

• 閥門開啟或關閉所需時間：DN35-DN63＞5 秒、DN100-DN250＞8 秒 

• 安裝方向：建議閥板密封面向泵或高真空側

• 閥板開啟兩側壓差：＜2000Pa

二、安裝尺寸