JT系列風冷復合分子泵由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成,它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大壓縮比高,牽引泵高壓強時抽速大,壓縮比高的特點,擴展了分子泵的應用范圍。
復合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應,由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。其廣泛應用于光伏,照明,宇航、半導體、能源、軍工、激光、家電材料、汽車等真空技術的各個領域.
JTFB-1600F風冷復合分子泵外形尺寸、安裝連接尺寸
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? JTFB-1600F風冷復合分子泵技術參數
表-6 ???JTFB-1600F ?復合分子泵技術參數表 | ||
型號 | JTFB-1600F | |
高真空法蘭(mm) | 250 CF/250 ISO-K | |
前級管道法蘭(mm) | 50 KF | |
抽氣速率(L/S)(對空氣) | 1600 | |
壓縮比 | N2 | >109 |
? | H2 | ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? >1X104 |
極限壓強(Pa) | <8×10-8/<5×10-7 | |
瞬時耐壓 | 5000Pa | |
電機轉數(rpm) | 24000 | |
振動值(μm) | ≤0.15 | |
啟動時間(min) | <6 | |
停機時間(min) | 8 | |
建議采用的前級泵(L/S) | 15 | |
冷卻方式 | 風冷 | |
風冷泵環境溫度(℃) | ≤35 | |
泵體烘烤溫度(℃) | <120 | |
加熱器功率(w) | <350 | |
加熱器輸入電壓(v) | AC220 | |
安裝方向 | 垂直±5° | |
泵重量(kg) | ≈31 |
JTFB-1600F 風冷復合分子泵對氮氣及氫氣的壓縮比曲線