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1200風冷

發(fā)布時間:2019-05-28編輯:瀏覽量:3492

9   JTFB-1200風冷復合分子泵

JT系列風冷復合分子泵由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成,它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大壓縮比高,牽引泵高壓強時抽速大,壓縮比高的特點,擴展了分子泵的應用范圍。

復合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應,由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。其廣泛應用于光伏,照明,宇航、半導體、能源、軍工、激光、家電材料、汽車等真空技術(shù)的各個領(lǐng)域.


JTFB-1200F風冷復合分子泵外形尺寸、安裝連接尺寸

圖片13


? JT系列復合分子泵技術(shù)參數(shù)表


表-5 ???JT系列復合分子泵技術(shù)參數(shù)表

技術(shù)數(shù)據(jù)

JTFB-1200F復合分子泵

高真空法蘭(mm)

200 CF ?

200 ISO-K

前級管道法蘭(mm)

40 KF

抽氣速(L/S)(對空氣)

1200

壓縮比

N2

>109

H2

>1X104

極限壓強(Pa)

<8×10-8

<5×10-7

電機轉(zhuǎn)數(shù)(rpm)

24000

振動值

≤0.1μm

啟動時間(min)

5

停機時間(min)

7

建議采用的前級泵(L/S)

8-15

冷卻方式

風冷

風冷泵環(huán)境溫度(℃)

≤35

泵體烘烤溫度(℃)

<120

加熱器功率(w)

<300

加熱器輸入電壓(v)

AC220裝方

安向

垂直±5°

泵重量(kg)

≈29



圖片3

JTFB-1200F風冷復合分子泵對大氣的抽速曲線

22JTFB-1200F 風冷復合分子泵對氮氣及氫氣的壓縮比曲線