JT系列復(fù)合分子泵由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成，它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大壓縮比高，牽引泵高壓強(qiáng)時抽速大，壓縮比高的特點，擴(kuò)展了分子泵的應(yīng)用范圍。
復(fù)合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng)，由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。其廣泛應(yīng)用于光伏，照明，宇航、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電材料、汽車等真空技術(shù)的各個領(lǐng)域.
JTFB-1200復(fù)合分子泵外形尺寸、安裝連接尺寸
? JT系列復(fù)合分子泵技術(shù)參數(shù)表
表-2 ???JT系列復(fù)合分子泵技術(shù)參數(shù)表 | ||
技術(shù)數(shù)據(jù) | JTFB-1200復(fù)合分子泵 | |
高真空法蘭(mm) | 200 CF ? | 200 ISO-K |
前級管道法蘭(mm) | 40 KF | |
抽氣速(L/S)(對空氣) | 1200 | |
壓縮比 | N2 | >109 |
H2 | >1X104 | |
極限壓強(qiáng)(Pa) | <8×10-8 | <5×10-7 |
電機(jī)轉(zhuǎn)數(shù)(rpm) | 24000 | |
振動值 | ≤0.1μm | |
啟動時間(min) | 5 | |
停機(jī)時間(min) | 7 | |
建議采用的前級泵（L／S） | 8-15 | |
冷卻方式 | 水冷 | |
水冷泵冷卻水溫度（℃） | ≤25 | |
水冷冷卻水流量(L/min) | 2 | |
泵體烘烤溫度（℃） | <120 | |
加熱器功率(w) | <300 | |
加熱器輸入電壓(v) | AC220裝方 | |
安向 | 垂直±5° | |
泵重量(kg) | ≈29 | |
JTFB-1200復(fù)合分子泵對氮氣及氫氣的壓縮比曲線
